理工学部生が電気化学会第93回大会で「優秀学生講演賞」を受賞

受賞情報

賞状

　2026年 3月 17日～ 19日に、東京理科大学野田キャンパスにて開催された、電気化学会第93回大会において、理工学部機械工学教育プログラム 4年（受賞時 3年）新澤遼大さん（指導教員：井上史大教授）が、優秀学生講演賞を受賞しました。

　受賞発表の題目は、「ポリマー/Cuハイブリッド接合におけるセリアスラリーの研磨特性評価」です。

　本研究は、先端半導体製造技術として研究が進められている、ポリマー/Cuハイブリッド接合プロセスにおけるCMP工程へのセリアスラリーの適用可能性を、機械的要素および電気化学的要素から評価したものです。

　これらの研究成果に加え、優れたプレゼンテーション能力が評価され今回の受賞となりました。